氧化鈮靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。 河北東同光電接下來(lái)告訴我們具體的清潔方法吧。
金屬靶材可以通過(guò)四步清潔,
第一步用在丙酮中浸泡過(guò)的無(wú)絨軟布清潔;
第二步與第一步類似用酒精清潔;
第三步用去離子水清洗。在用去離子水清洗過(guò)后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。 氧化物及陶瓷靶材的清洗建潔用“無(wú)絨布”進(jìn)行清潔。
第四步在清除完有污垢的區(qū)域后,再用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材, 以除去所有可能在濺射系統(tǒng)中會(huì)造成起弧的雜質(zhì)微粒。
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